INFICON氣體分析儀MPS100F

MPS系列可以通過(guò)監控過(guò)程條件、檢測污染物和檢查泄漏來(lái)幫助您優(yōu)化過(guò)程。提供 100 amu 和 200 amu 兩種版本，能夠靈活地執行各種功能，包括一般泄漏檢測、真空診斷和碳氫化合物分析。

• 雙燈絲
• 現場(chǎng)可更換電子倍增器
• 可現場(chǎng)更換的陽(yáng)極、陰極和排斥極燈絲組件
• 可互換的傳感器和電子設備
• TCP/IP 以太網(wǎng)連接
• 較短的傳感器可max限度地減少安裝空間
• max模擬掃描和選定峰值的每點(diǎn)數據速率為 3 ms
• MDPP <1.5E-14 Torr
• 傳感器在潔凈室環(huán)境中組裝、測試和雙重包裝

• 傳感器長(cháng)度：14.3 厘米
• 質(zhì)量范圍：100 amu
• 探測器類(lèi)型：FC
• 靈敏度 (FC)：3E-4 amps/Torr
• 靈敏度 (EM):NA
• min可檢測分壓 (3)：2.6E-12 Torr
• max傳感器工作溫度 (FC):200°C
• max傳感器工作溫度 (EM):不適用
• 燈絲類(lèi)型選項：雙 Y2O3/Ir 燈絲
• 分辨率 (1)：<1 amu 寬
• 溫度系數 (2)：<1%/°C
• 每點(diǎn)max數據速率：3 ms
• 零爆炸（@質(zhì)量 2）：<100 ppm
• max工作壓力：5E-4 Torr
• max烘烤溫度：300 °C
• 電源輸入：20-30 VDC