電子真空調節器允許通過(guò)計算機化指令信號進(jìn)行真空控制。命令信號先被發(fā)送到一個(gè)小型電子調節器,該調節器會(huì )向圓頂負載式平衡桿真空調節器 (EVR) 的參考端口產(chǎn)生先導信號,以控制過(guò)程壓力。
EVR系列是一種非減壓型真空調節器,可對真空供應泵和工藝之間的流量進(jìn)行節流,以便將工藝真空準確控制到特定的設定值。
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