一種用于波前控制的多功能可變形反射鏡系統。
流行的Multi-DM系列以易于使用的包裝提供復雜的像差補償。這種類(lèi)型的系統具有137或140個(gè)準確控制的元件和低致動(dòng)器間耦合,非常適合廣泛的應用,包括顯微鏡、天文學(xué)、視網(wǎng)膜成像和激光束成形。
MEMS 可變形反射鏡的架構可實(shí)現當今任何可變形反射鏡中快的響應時(shí)間,并且精度僅受電子設備限制。我們的標準驅動(dòng)器可對整個(gè)范圍進(jìn)行14位控制,使我們的可變形反射鏡具有開(kāi)箱即用的精度。如果需要更高的精度,可以使用更高的分辨率。
設計概念簡(jiǎn)單,但功能強大
工作溫度:-10C – 30C
儲存溫度:-10C – 80C
相對濕度:< 30%RH
鏡面涂層:鋁、金或保護銀
窗口:可提供AR涂層
遲滯:無(wú)
步長(cháng):亞納米(平均值)
表面類(lèi)型:連續(DM)
填充系數:>99%
表面形貌:<20nm RMS
執行器總數:140
整個(gè)孔徑的致動(dòng)器計數:12
物理行程(μm):5.5
波前行程 (µm):11.0
孔徑(毫米):4.95
間距(μm):450
產(chǎn)地:美國