XITON PHOTONICS激光系統IXION 193 SLM

XITON PHOTONICS是泵浦固態(tài)激光器與非線(xiàn)性光學(xué)器件的專(zhuān)家。XITON PHOTONICS開(kāi)發(fā)并制造了幾乎任何所需波長(cháng)的可靠激光系統，波長(cháng)范圍從深紫外185nm到中紅外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德國的全球運營(yíng)公司，擁有超過(guò)15年的經(jīng)驗。IXION 193 SLM是一種單頻全固態(tài)激光系統，用于光學(xué)計量、193nm步進(jìn)光學(xué)器件的校準或高功率ArF準分子激光器的帶寬控制等應用。該系統的波長(cháng)可在185至194nm之間的范圍內定制，并且可以在購買(mǎi)時(shí)預先配置為固定波長(cháng)。作為一種選擇，將具有0.001nm光譜精度的高精度光譜儀集成到系統中。這允許大限度地控制激光器的光譜調諧。

• 可靠性

• 產(chǎn)地：德國
• 波長(cháng)：193.368 nm
• 平均功率：10mW
• 脈沖持續時(shí)間：典型值8-12 ns
• 每脈沖能量：1.6µJ
• 重復頻率：1-15 kHz
• 光束質(zhì)量：M²<1.6
• 頻譜帶寬：＜80 MHz
• 光譜可調諧性：>10pm
• 相干長(cháng)度：>2 m
• 脈沖對脈沖刺入.：σ<2.5%