WASCO真空開(kāi)關(guān)UHP160

自1989年以來(lái)，客戶(hù)一直依賴(lài)UHP160系列的可靠性和性能。除了全焊接結構外，該系列還配備了全不銹鋼傳感器。UHP160系列采用了沃斯科的專(zhuān)有制造方法，消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開(kāi)關(guān)，精度高，公差小。

我們?yōu)榘雽w設備等較高純度應用設計了這些開(kāi)關(guān)。UHP160系列不含任何彈性體或o型圈。根據SEMI F1，所有開(kāi)關(guān)都經(jīng)過(guò)氦泄漏測試，達到≤ 1 x 10-9標準立方厘米/秒。UHP160系列在100級潔凈室中制造和包裝。

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臭氧系統

氣體分配系統

半導體設備

醫療設備