TOUSIMIS臨界點(diǎn)干燥器Automegasamdri-938

新型超臨界Automegasamdri-938系統由我們的內部設計團隊開(kāi)發(fā)，其目標是傾聽(tīng)您的需求，并將其融入我們的下一代產(chǎn)品中。幾十年來(lái)，您一直期待的經(jīng)典功能能夠實(shí)現平穩操作、準確控制和再現性，在我們這個(gè)新的設計中再次顯現。

• 運行室中的專(zhuān)用初始慢速填充可以實(shí)現理想的流體動(dòng)力學(xué)，從而保留敏感的微型設備。
• 通過(guò)可接近的部件，包括外部吹掃后過(guò)濾器組件，維護變得容易。
• “渦流”技術(shù)：非機械攪拌室，允許流體動(dòng)態(tài)交換，無(wú)需產(chǎn)生顆粒的摩擦裝置。
• 集成閉合冷卻回路可快速降低腔室溫度，縮短工藝運行時(shí)間。
• 內部SOTER（tm）冷凝器安靜地捕獲并分離二氧化碳廢氣和廢酒精。
• 腔室插入件可實(shí)現腔室內徑的變化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工藝時(shí)間，并提供多種尺寸的晶圓工藝能力。
• 處理室LCO2過(guò)濾至0.08μm，顆粒保留率達到99.999%+。
• 每次運行可處理五個(gè)8“（200mm）晶圓。包括以下HF兼容晶圓夾：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夾。
• 通過(guò)觀(guān)察窗口實(shí)現腔室照明，有助于腔室狀態(tài)可視化。
• 自動(dòng)處理與工廠(chǎng)默認配方或自定義自己的能力。
• 所有內表面對二氧化碳和超純醇都是惰性的。
• 可重復的操作參數，確保結果的“再現性”。
• 操作功能集成在溫度和壓力自動(dòng)調節中。
• 潔凈室無(wú)靜電兼容設計。

8760-03：8“工藝室用KNURL螺母

8760-41：適用于A(yíng)utosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的3A保險絲

8760-42：適用于A(yíng)utosamdri、Automegasamdri和觸摸屏C系列的8A保險絲

8770-13：LED室燈，120V

8770-32：高壓軟管，5英尺

8770-33：高壓軟管，10英尺

8770-80：4“工藝腔室的腔室蓋

8785：雙T形過(guò)濾器組件

8770-83B：用于LCO2 T型過(guò)濾器或外部吹掃管線(xiàn)過(guò)濾器的0.5µm不銹鋼顆粒過(guò)濾器元件。

8784-05：LCO2儲罐連接墊片

8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型環(huán)

8770-48：流量計-與Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用

8770-54：LCO2油箱秤，帶遠程顯示器

8768H：8“-200毫米HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768A：6“-150mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768F：5“-125mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768B：4“-100mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768C：3“-75mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768D：2“-50mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768G：1“-25mm HF兼容晶圓架，容納5個(gè)晶圓

8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容納5個(gè)芯片

產(chǎn)地：美國

柜子：19.8" (50.3cm)寬x 31.7" （80.6cm）深x 44.5" （113.0cm）高

系統設置區域占地面積：27" （68.6cm）寬x 38" （96.5cm）深

腔室尺寸：8.50“內徑x 1.25”深度

腔室容積：1162 ml

電壓：120V或220V

頻率：50-60Hz

流量控制：微型計量閥

晶圓尺寸：可達8"-200mm

編織線(xiàn)材質(zhì)：SS316

編織線(xiàn)長(cháng)度：10ft/3m（其他長(cháng)度可根據要求提供，可達100ft/30m）

過(guò)濾器組件：雙T形，預裝

生物工程

植物學(xué)

昆蟲(chóng)學(xué)

凝膠

石墨烯

MEMS

金屬有機框架

其他SEM CPD應用程序