BILZ電子氣動(dòng)位置控制EPPC

用于高度動(dòng)態(tài)和振動(dòng)敏感的機器和儀器的實(shí)時(shí)液位控制。

EPPC實(shí)時(shí)液位控制可實(shí)現+/-10µm的生產(chǎn)精度，并顯著(zhù)減少偏轉和沉降時(shí)間，以響應動(dòng)態(tài)負載變化基于智能瀏覽器的用戶(hù)界面，用于設置、診斷和監控。

電子氣動(dòng)位置控制EPPC為高精度機器、高度動(dòng)態(tài)和振動(dòng)敏感的測量機器、顯微鏡以及測試和生產(chǎn)機器提供好的振動(dòng)隔離。

EPPC可以與三到六個(gè)BiAir薄膜空氣彈簧控制組組合，以控制多達六個(gè)自由度。Bilz為系統設計提供各種不同尺寸的空氣彈簧。

電子氣動(dòng)液位控制系統與BiAir薄膜空氣彈簧相結合，可實(shí)現位置精度，并減少動(dòng)態(tài)負載變化時(shí)的偏轉和沉降時(shí)間。

• 位置精度（+/-10µm）
• 可單獨調節的系統參數（如阻尼）
• 響應荷載變化的短撓度和沉降時(shí)間
• 每個(gè)自由度一個(gè)高性能伺服閥和一個(gè)位移傳感器
• 采用CAN總線(xiàn)技術(shù)的優(yōu)化連接系統
• 基于瀏覽器的智能用戶(hù)界面，用于設置、診斷和監控，通過(guò)以太網(wǎng)連接，可進(jìn)行遠程維護
• 操作員狀態(tài)顯示（例如準備就緒、工作位置、動(dòng)作完成、錯誤）
• 用于外部控制和監控的數字I/O接口
• 高分辨率信號處理和伺服閥技術(shù)帶來(lái)的無(wú)噪聲控制
• 堅固可靠的空氣彈簧技術(shù)，可與Bilz BiAir®薄膜空氣彈簧結合使用
• 無(wú)干擾發(fā)熱、磁場(chǎng)波動(dòng)或電磁執行器的高功耗

• 典型系統負載：800 kg–120.000 kg
• 垂直固有頻率：1,2–2,5 Hz
• 水平固有頻率：2,2–2,8 Hz
• 控制類(lèi)型：伺服氣動(dòng)
• 適合潔凈室：是
• 通信接口：以太網(wǎng)、數字I/O
• 產(chǎn)地：德國

-傳感器分辨率：

• 位移測量系統：0.76µm
• 壓力傳感器：0.36毫巴
• 采樣率傳感器信號：1 kHz（過(guò)采樣后）

• 高精度機器
• 振動(dòng)敏感和高度動(dòng)態(tài)的測量機
• 顯微鏡
• 半導體行業(yè)的測試和生產(chǎn)機器