NUMERIK JENA光柵尺LIK22 vac
- 品 牌：NUMERIK JENA
- 型 號：LIK22 vac
-
技術(shù)資料：
UM_LIK_vac_eng
- 閱讀次數：1151
產(chǎn)品介紹
LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。自帶2場(chǎng)EPIFLEX讀數模塊，也適用于惡劣的應用環(huán)境。
性能特點(diǎn)
- 真空版LIK 21，外殼版本1
- 帶EPIFLEX讀數模塊（2場(chǎng)掃描）
- 光柵尺部件滿(mǎn)足真空度達10 E-9 mbar（UHV）的氣壓要求
- 支持150 °C時(shí)12小時(shí)的加熱周期
- 1 Vpp或RS 422輸出信號
- 多達100倍的細分信號
- 最小測量步距僅50 nm
- 運動(dòng)速度達10 m/s（1 Vpp）
津公網(wǎng)安備12010102000945號
