COHERENT準分子激光器VarioLas Sweep

基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統是用于具有線(xiàn)光束或方形光束場(chǎng)形狀的高質(zhì)量 UV 微加工的靈活工具。

光學(xué)設計、堅固的機械結構和具有脈沖間穩定性的準分子激光器可提供非常準確的結果。應用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。

• 高分辨率光學(xué)和機械結構確?？芍貜偷慕Y果
• 模塊化設計，提供靈活使用的定制選項
• 方光束和線(xiàn)光束場(chǎng)以獲得更優(yōu)的結果
• 支持所有 COMPex 激光器型號以實(shí)現有效率的加工

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火