COHERENT準分子激光器TriVYPER

VYPER 系列激光器是專(zhuān)為準分子激光退火 (ELA) 設計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動(dòng)顯示器制造的高質(zhì)量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光器制造。

這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學(xué)器件。

• 非常高的UV 功率，可實(shí)現高通量應用
• 能量穩定性，確保高產(chǎn)量
• EquiSwitch 同步提供低的抖動(dòng)
• 激光數據采集可實(shí)現過(guò)程控制
• 密封和凈化的光束路徑，可實(shí)現穩定的長(cháng)期運行
• 用于控制和快速數據采集的以太網(wǎng)接口

準分子激光退火

脈沖激光沉積