FORMFACTOR手動(dòng)探針系統PM8

FormFactor 的 Cascade PM8 手動(dòng)探針系統旨在為高達 200 mm 的分析探測應用提供高度穩定、符合人體工程學(xué)和靈活的探測平臺，例如器件和晶圓表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測和 MEMS。創(chuàng )新的精細滑動(dòng)卡盤(pán)平臺提供大范圍粗動(dòng)和微米級微動(dòng)，

簡(jiǎn)化測量?；◢弾r板可以承受任何熱或機械影響，并確保完整的系統穩定性。PM8 的堅固結構非常適合所有高達亞太赫茲范圍的射頻應用，由 WinCal XE 校準軟件支持，包括 LRRM、LRM+、NIST 風(fēng)格的 TRL 和混合校準方法。

獨特的可移動(dòng)顯微鏡橋選件可輕松且符合人體工程學(xué)地對高達 200 毫米的觀(guān)察系統進(jìn)行粗調和微調，從而使所有 FA 和檢測任務(wù)以及晶圓級可靠性 (WLR) 測試變得容易。PM8 可以使用各種附件進(jìn)行升級，例如用于 FA 應用的激光切割機和遙控手動(dòng)定位器，以及用于校準基板和拋光墊的特殊設計的卡盤(pán)，用于高頻應用。探針卡可以很容易地用于測試，并且可以通過(guò)少的設置調整來(lái)測試封裝的部件。

• 力學(xué)

高穩定性花崗巖底座

X 軸和 Y 軸的獨立粗略移動(dòng)，結合低至亞微米范圍的輕松微調

1 µm 可重復分離行程

高測量精度和可重復性

快速導航和高精度探頭定位

• 高靈活性

可針對 DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置

多種附件：熱卡盤(pán)、電動(dòng)顯微鏡和定位器、暗盒等

40 毫米壓板高度可調

升級路徑以滿(mǎn)足您未來(lái)的需求

晶圓和封裝測試之間的快速轉換

• 便于使用

低調、簡(jiǎn)單的設計

簡(jiǎn)單且符合人體工程學(xué)的操作

• 雙面選項

正面或背面儀器，例如：積分球、光纖設置、壓力模塊

正面或背面探測能力

訪(fǎng)問(wèn)被測設備 (DUT) 的頂部和底部

高精度光測量

PS-ACC-HDTV：

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數字電視選項