FORMFACTOR半/全自動(dòng)探針系統CM300xi-ULN

FormFactor 的新型 CM300xi-ULN（超低噪聲）是一種革命性的 300 毫米晶圓探測系統，專(zhuān)為高精度閃爍噪聲 (1/f)、隨機電報信號噪聲（RTN 或 RTS）和超靈敏設備的相位噪聲測量而設計。

憑借PureLine 3 技術(shù)，ULN 探測系統消除了先前探測系統中 97% 的環(huán)境噪聲，并為超低噪聲測量建立了新的行業(yè)黃金標準。

當與噪聲測試設備（閃爍噪聲、RTN、相位噪聲）集成時(shí)，CM300xi-ULN 可提供高的測試吞吐量，使用帶有電動(dòng)探針定位器的接觸智能，通過(guò)多 DUT 布局實(shí)現完全自主的直流和低頻噪聲探測完全免提 24/7 操作。

最后，CM300xi-ULN 消除了低噪聲 TestCell 優(yōu)化的復雜性。只需將其插入即可。低噪聲現場(chǎng)調查和系統驗證降低了設置成本和工具部署時(shí)間。這使實(shí)驗室工程師可以專(zhuān)注于獲得良好的設備數據，這些數據可用于減少成本高昂的重新設計的數量，并以更低的開(kāi)發(fā)成本加快上市時(shí)間。

PureLine 3 技術(shù)

• 在被測設備 (DUT) 周?chē)峁┯行У臒o(wú)噪聲環(huán)境
• 實(shí)現 -190dB 頻譜噪聲的自動(dòng)探針臺
• 噪聲降低高達 32 倍 (1kHz)，用于改進(jìn) 7/5/2 nm 技術(shù)節點(diǎn)的器件表征和建模，面向 5G 及更高應用
• 消除了之前探頭系統中 97% 以上的環(huán)境噪聲
• 廣泛收集 FormFactor電氣設計知識和測量系統 IP

即插即用

• 集成 TestCell 電源管理的探針臺（TestCell 是一組連接的設備，包括測試軟件、儀器、探針臺、熱系統和相關(guān)的測量附件，如電纜和晶圓上探針）
• 消除所有接地回路引起的 TestCell 噪聲
• 低場(chǎng)發(fā)射
• 為整個(gè)系統、探測器和儀器提供完全管理和過(guò)濾的交流電源

自主 24/7運營(yíng)

• 30 μm 焊盤(pán)上的閃爍噪聲熱測試速度提高 4 倍
• ULN 優(yōu)化的電動(dòng)直流探頭定位器可在多個(gè)溫度下實(shí)現完全自主的直流和低頻閃爍噪聲探測
• 完全免提 24/7 操作

低噪音現場(chǎng)調查

• 由 FormFactor 工廠(chǎng)訓練有素的工程師執行，以確定安裝 ULN 系統的位置
• 可以選擇一個(gè)好的位置，以限制不需要的環(huán)境噪聲降低 TestCell 性能
• 降低設置成本和工具部署時(shí)間
• 包括四個(gè)關(guān)鍵噪聲源的測量：地板振動(dòng)（1Hz 至 1KHz 范圍內的 µg）、磁場(chǎng)強度（AC 毫高斯）、電力線(xiàn)噪聲和電力線(xiàn) THD（總諧波失真）

系統驗證服務(wù)

• 每個(gè) CM300xi-ULN 探測系統都包含在內
• 展示與標準產(chǎn)品數據表相關(guān)的關(guān)鍵規格和性能
• 測量關(guān)鍵產(chǎn)品規格參數，例如頻譜噪聲密度（dBVrms/√Hz，1Hz 至 20MHz）和交流吸盤(pán)噪聲（mV p-p，DC 至5GHz）

ULN 微型腔室

• 探測器內部和直接圍繞 DUT 和晶圓卡盤(pán)區域的探測環(huán)境
• 確保完整的 EMI / RFI 屏蔽區域
• 為測量光敏晶體管和負溫度 (<= -60°C) 的器件提供無(wú)霜操作的黑暗和干燥環(huán)境

ULN 功率調節單元

• 為整個(gè)系統 - 探測器和儀器提供完全管理和過(guò)濾的交流電源
• 消除探針臺和儀器之間會(huì )導致低頻噪聲的接地回路
• 為探針臺、熱冷卻器和控制器、晶圓裝載器、供電附件和所有測試儀器提供清潔、過(guò)濾的交流電源
• 提供統一的緊急關(guān)閉/緊急電源控制系統，確保整個(gè)系統和所有儀器的運行。

ULN 熱過(guò)濾模塊

• 過(guò)濾外部熱控制系統產(chǎn)生的有害噪音
• 有源模塊在1Mhz以上降低高頻噪聲高達30dB

ULN 單點(diǎn)接地和布線(xiàn)系統

• 集成所有探頭附件
• 低電阻接地連接
• 用于機械組件的低電阻材料和硬連接方案
• 減少“天線(xiàn)效應”將不需要的射頻噪聲注入測量路徑

用于精確 PLL 相位噪聲的 ULN SMU 濾波模塊

• 新開(kāi)發(fā)的用于源測量單元 (SMU) 的直流濾波器模塊
• 用于對鎖相環(huán)電路 (PLL) 和壓控振蕩器 (VCO) 等設備進(jìn)行高精度相位噪聲測量
• 提供超靜音/清潔的直流電源電壓
• 提供高達 100dB 的衰減（50Hz 至 80Mhz），直流電流為100mA
• 每個(gè)SMU濾波器模塊支持一個(gè)通道，多個(gè)模塊可配置在一起提供多通道清潔電源

高性能探頭

• 超低 fA 級電流和 fF 級電容測量范圍為 -65 °C 至 + 300 °C
• 保證對 fA 和 fF 級別的完全保護測量

輕松手動(dòng)裝載晶圓

• 夾頭安裝在可手動(dòng)打開(kāi)的推出臺上
• 允許完全訪(fǎng)問(wèn)卡盤(pán)和輔助站點(diǎn)
• 用于快速手動(dòng)裝載和卸載晶圓

3D 手動(dòng)控制

• 前面的 Virtual Platen Lift 和 XY 旋鈕
• 在 X、Y 和 Z 方向上直觀(guān)、精確地移動(dòng)卡盤(pán)
• Platen Lift 能夠以極其快速和直觀(guān)的方式執行許多對齊任務(wù)，例如設置接觸高度

Velox 探針臺控制軟件

• 以用戶(hù)為主的設計大限度地降低培訓成本并提高效率
• Windows 10 兼容性通過(guò)硬件實(shí)現高性能和操作
• 對準功能——從簡(jiǎn)單的晶圓對準和映射到用于自主半導體測試的多種溫度下的高級探針到焊盤(pán)對準
• 為沒(méi)有經(jīng)驗的用戶(hù)簡(jiǎn)化操作：通過(guò)工作流程指南和精簡(jiǎn)的圖形用戶(hù)界面降低培訓成本
• VeloxPro 選項：符合 SEMI E95 標準的測試執行軟件，可實(shí)現整個(gè)晶圓測試周期的簡(jiǎn)化和自動(dòng)化

測試生產(chǎn)力和材料處理單元

• 盒外測試自動(dòng)化，可提高夜間/周末操作的測試單元效率
• 可處理 25 個(gè)晶圓（200 或 300 毫米）
• SEMI 標準盒式熱插拔功能
• 非常緊湊的全自動(dòng)解決方案，占地面積小

用于超低噪聲測量的 300 mm 半/全自動(dòng)探頭系統