FORMFACTOR低溫晶圓探測器HPD 4 K

HPD 4 K 低溫晶圓探針是一種高精度全自動(dòng)探針臺，適用于 4 K 環(huán)境中的 150 毫米和 200 毫米基板。為了加速商用量子和超導計算機的實(shí)現，我們?yōu)樾酒_(kāi)發(fā)人員提供了智能迭代設計所需的工具。4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜，以及可用于測試配置的更大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環(huán)境條件，以確保為敏感的超導設備提供高質(zhì)量的數據。全自動(dòng)晶圓裝載和復雜的 Velox 軟件套件允許進(jìn)行高吞吐量測試和無(wú)人值守操作，以快速獲取數據。FormFactor 長(cháng)期的探測知識和數十年的準確低溫經(jīng)驗在該系統中相結合，將超導設備的測試和測量從實(shí)驗室帶入晶圓廠(chǎng)。

環(huán)境控制

• 晶圓溫度驗證 <4.5 K（44 個(gè)射頻探頭接觸）
• 磁場(chǎng)抑制<200 nT
• 高度均勻的晶圓溫度
• 準確的熱穩定性和控制
• 堅固的花崗巖底座結構可實(shí)現準確的運動(dòng)和振動(dòng)控制

靈活性

• 輕松更換可定制的探針卡
• 可配置為 150 毫米或 200 毫米晶圓
• 多達 56 個(gè)射頻同軸電纜（高達 18 GHz）
• 多達 520 條直流線(xiàn)路

自動(dòng)化

• 全自動(dòng)晶圓裝載或手動(dòng)選項
• 用于手動(dòng)、半自動(dòng)或全自動(dòng)探測的完整軟件套件

數據獲取時(shí)間

• 25 個(gè)晶圓盒容量，用于全自動(dòng)測試
• 每個(gè)晶圓約 15 分鐘的冷卻時(shí)間
• 用于快速模具到模具運動(dòng)的高速運動(dòng)平臺

用于快速穩定時(shí)間的剛性運動(dòng)堆棧

量子計算、超導芯片開(kāi)發(fā)、量子信息科學(xué)