VAT傳輸閥05312-LA24

采用 L-Motion 技術(shù)的 053 Transfer Insert 特別適用于蝕刻或 CVD 等腐蝕工藝。L-Motion 技術(shù)通過(guò)單軸氣動(dòng)執行器提供閘門(mén)的 L-motion。在這種 L 運動(dòng)中，閘板垂直移動(dòng)到關(guān)閉位置，與閥體沒(méi)有任何接觸，在最后的運動(dòng)中，它被水平推到閘閥座上，密封件同時(shí)以完全相同的壓力接觸閘板座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還大限度地減少了密封磨損。

為了進(jìn)一步減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門(mén)配有硫化密封件。這是一種比標準 O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標準 O 型圈密封作為選項提供。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。

為了確保閘門(mén)的整個(gè)長(cháng)度具有相同的密封水平，閘門(mén)配備了一個(gè)特殊的壓桿。該條保證了澆口每個(gè)區域的密封壓力均勻分布。

在斷電的情況下，05.3可以氣動(dòng)鎖定在關(guān)閉位置。

帶 L-Motion 的 05.3 轉換插件專(zhuān)為延長(cháng)免維護操作而設計（≤ 3 百萬(wàn)次循環(huán)，直到第一次服務(wù)）。

053 系列已安裝在各種半導體生產(chǎn)工藝中的數百個(gè)要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。053 系列具有堅固的設計以及減少和易于維護的特點(diǎn)，在各個(gè)方面都令人信服。

• 在腐蝕性過(guò)程條件下可靠運行
• L-Motion 技術(shù)可避免粒子產(chǎn)生和激活
• 用于均勻澆口壓力分布的壓桿
• 波紋管密封軸饋通
• 延長(cháng)免維護周期
• 平穩、低沖擊運動(dòng)
• 正常運行時(shí)間長(cháng)/性能不受限制
• 快速操作
• 運營(yíng)成本低