快速關(guān)閉閥門(mén)的主要要求是在出現空氣涌入的情況下能夠快速可靠地做出反應。由于泄漏導致 UHV 或 XHV 環(huán)境的損失,尤其是在加速器或儲存環(huán)等大容量環(huán)境中,可能會(huì )導致污染方面的重大問(wèn)題,以及恢復所需真空水平所需的努力。
75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列可在壓力升高時(shí)通過(guò)快速關(guān)閉反應保護真空度。該系列在 10 毫秒以下(取決于閥門(mén)直徑)以很快的速度關(guān)閉真空管路。關(guān)閉后,閥門(mén)密封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫秒都可以防止損壞程度,因此 75.2 設定了保護基準。
75.2 設計為閘閥 (DN 40),采用氣動(dòng)驅動(dòng)。標準烘烤溫度高。閥體max. 200°C執行器為 50°C。閥蓋采用金屬密封,閘門(mén)密封采用 FKM,焊接金屬波紋管密封饋通。
快速關(guān)閉閥由單獨的控制器控制??刂破魍ㄟ^(guò)定期檢查系統、傳感器及其連接的就緒狀態(tài)來(lái)確??焖訇P(guān)閉時(shí)間。該控制器是模塊化的,可以針對不同的閥門(mén)/傳感器布置進(jìn)行配置??焖訇P(guān)閉閥的狀態(tài)也由控制器提供遠程輸出。反之亦然,閥門(mén)可以通過(guò)控制器上的接口進(jìn)行遠程控制。
75.2 UHV 快速關(guān)閉閥系列已經(jīng)在各種工藝條件下的加速器和儲存環(huán)設施中得到證明,已成為可靠的 UHV 和 XHV 系統保護的標準。