ENTEGRIS電子流量計InVue NT4400

InVue NT4400 電子流量計設計用于半導體行業(yè)的高的純度應用，并與高腐蝕性過(guò)程兼容。 流通設計大限度地減少死體積，降低過(guò)程污染的可能性。 該儀器的所有接液部件均采用 PTFE 和其他高的純度含氟聚合物。該儀器采用非金屬壓力傳感技術(shù)，利用差壓提供準確可靠的流量和壓力測量。 流量和壓力測量不受氣泡或滯留蒸汽的影響。 所有產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)工廠(chǎng)校準和 100% 驗證，無(wú)需現場(chǎng)校準，安裝簡(jiǎn)單。 標準電子輸出可輕松與 PLC、控制系統和電子顯示器集成。

沒(méi)有運動(dòng)部件產(chǎn)生粒子

用于可靠測量的非金屬傳感技術(shù)

用于附加過(guò)程信息的集成壓力傳感器

流通式設計，大限度地減少死體積

關(guān)鍵測量的 1% 滿(mǎn)量程精度

易于安裝在任何方向