ENTEGRIS過(guò)濾器外殼E2600

Entegris E2600 過(guò)濾器外殼用于化學(xué)凈化光刻曝光工具中使用的環(huán)境空氣。 E2600 過(guò)濾系統可保護曝光工具免受各種空氣分子污染物的影響。 E2600 過(guò)濾器外殼設計用于與 Entegris 化學(xué)空氣過(guò)濾器一起使用，以保護曝光工具中的化學(xué)放大抗蝕劑和暴露的光學(xué)表面。當配備 Entegris 混合介質(zhì)化學(xué)空氣過(guò)濾器時(shí)，E2600 過(guò)濾器外殼可提供先進(jìn)的保護，防止空氣中的分子酸、堿和可冷凝有機化合物。在 E2600 內部，專(zhuān)門(mén)的化學(xué)過(guò)濾器以多級串聯(lián)配置排列，以提供保護，防止嚴重的污染事件，例如溶劑和顯影劑化學(xué)品的意外溢出。

去除酸、堿和可冷凝的有機物

內部 HEPA 過(guò)濾器確保顆?？刂?/p>

用于性能監控的堆棧間示例端口

占地面積小，節省潔凈室空間

剛性結構確?？煽?、無(wú)故障運行

雙入口和出口過(guò)渡，用于簡(jiǎn)單、硬或靈活的管道連接