ENTEGRIS化學(xué)過(guò)濾器VaporSorb FAC

VaporSorb系列混合化學(xué)空氣過(guò)濾器旨在為 22 納米以下節點(diǎn)的先進(jìn)半導體制造環(huán)境提供保護。 Entegris VaporSorb 過(guò)濾器有助于降低高流量設施應用中不需要的空氣分子污染 (AMC) 水平。 Entegris VaporSorb FAC 過(guò)濾器可針對任何類(lèi)型的空氣處理裝置安裝進(jìn)行配置，并且特別適合補充空氣 (MUA) 和回風(fēng)處理 (RAH) 應用。 Entegris VaporSorb FAC 過(guò)濾器使用我們廣泛的潔凈室環(huán)境水平數據庫設計，以提供大的效率和污染物去除。

提供保護，防止強酸和弱酸以及有機物和堿（如氨），減少晶圓缺陷，提高產(chǎn)量并延長(cháng)設備正常運行時(shí)間

具有優(yōu)化的吸附劑混合物的特定應用過(guò)濾器針對并去除每個(gè)工藝工具關(guān)注的污染物，大限度地減少介質(zhì)浪費并延長(cháng)使用壽命

任何 FFU、工具內、設備工廠(chǎng)接口或過(guò)程模塊安裝的靈活配置簡(jiǎn)化了安裝和集成

Entegris 擁有的過(guò)濾器制造為特定于晶圓廠(chǎng)的優(yōu)化介質(zhì)提供快速周轉