ENTEGRIS濃度監測儀InVue GV148

InVue GV148 液體濃度監測器可在不干擾或中斷過(guò)程的情況下，為化學(xué)品混合、加標和稀釋提供實(shí)時(shí)過(guò)程流體濃度測量。GV148 液體濃度監測儀集成在一個(gè)緊湊的高的純度封裝中，可提供經(jīng)濟的高性能濃度監測，從而提高生產(chǎn)線(xiàn)前端 (FEOL)、生產(chǎn)線(xiàn)后端 (BEOL) 的工藝效率 ) 和子晶圓廠(chǎng)交付化學(xué)系統。 這種增加的過(guò)程可見(jiàn)性導致更嚴格的過(guò)程控制、更高的晶片產(chǎn)量、減少的化學(xué)品使用和減少的廢料。GV148 監測儀采用經(jīng)過(guò)驗證的折射率技術(shù)，封裝在緊湊的配置中，可提供準確和可重復的液體濃度測量方法。 在線(xiàn)傳感器可準確測量過(guò)程流體的折射率 (IoR) 和溫度。 然后使用該信息來(lái)計算過(guò)程流體濃度。

使用反射指數測量 CMP 漿料和非導電流體

帶有集成電子元件的小尺寸可大程度地減小工具尺寸

HMI 軟件支持實(shí)時(shí)數據記錄、分析和定制

窗戶(hù)清潔端口可輕松訪(fǎng)問(wèn)藍寶石窗戶(hù)進(jìn)行清潔