ENTEGRIS預過(guò)濾器外殼和空氣循環(huán)系統E2000

為掃描儀系統和小型環(huán)境的清理提供先進(jìn)的二層保護。 如果需要額外的保護或沒(méi)有空氣處理系統，則可以化學(xué)凈化環(huán)境空氣。E2000 預過(guò)濾器外殼和空氣循環(huán)系統是我們市場(chǎng)的 OEM 掃描儀集成過(guò)濾器系統的自然延伸。 E2000 系統增強了對空氣中低分子量硅 (LMWSi) 和可冷凝有機物的鏡片污染的保護。它滿(mǎn)足 Nikon、ASML 和 Canon photobay 環(huán)境規范并延長(cháng) OEM 掃描儀過(guò)濾器有機物的使用壽命。作為獨立系統使用，E2000 系統可以通過(guò)再循環(huán)空氣和去除導致腐蝕和工藝問(wèn)題的空氣污染物來(lái)清潔設施。

選擇吸附化學(xué)物質(zhì)以大限度地提高目標 AMC（空氣中的分子污染物）的容量

匹配現有的 OEM 掃描儀過(guò)濾系統

用于過(guò)濾小型設施的緊湊型獨立解決方案

適用于所有應用的輕松改造

符合 Nikon、ASML 和 Canon 環(huán)境規范