ATOVAC節流閥控制器APC200

APC200是GPC3000的升級版，壓力流量控制器基本為電容壓力計供電（±15VDC），接收并顯示來(lái)自電容壓力計的壓力信號，連接節流閥，通過(guò)PID或自整定功能控制壓力. 它是一個(gè)控制裝置。其中，如果使用自整定功能，則通過(guò)檢測流入腔室的氣體量、泵速、閥位引起的真空壓力變化等重要參數來(lái)獲取壓力控制因素。如果用戶(hù)使用此功能來(lái)控制壓力，可以更快地達到所需壓力。內置兩個(gè)過(guò)程限位繼電器，幫助用戶(hù)設備過(guò)程。

• APC200 有一個(gè)PCB 卡，可以選擇至多連接4 個(gè)MFC，每個(gè)PCB 包含2 個(gè)通道（連接2 個(gè)MFC）。
• APC200 的設計非常方便且易于通過(guò)本地（前面板）、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠程控制。

• 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC
• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲
• 控制器重復性：±0.1% FS
• 環(huán)境操作溫度：150℃ - 450℃
• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門(mén)位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，FS 壓力
• 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D