ONTO光刻系統JetStep G35

JetStep G35 系統專(zhuān)為靈動(dòng)性而設計，利用一系列高性能投影鏡頭為平板顯示器制造商實(shí)現高分辨率成像。Jetstep G35 系統是一款大批量制造成像系統，適用于高達 3.5 代的顯示器。JetStep G35 系統可實(shí)現低至 1.5µm 的高分辨率成像，并結合先進(jìn)的高分辨率顯示器制造所需的配準和拼接精度。適用于高達Gen 3.5尺寸的平板顯示器應用的高分辨率成像。

• 自動(dòng)放大控制增加了工藝窗口
• 板載標線(xiàn)管理系統提供大利用率
• 用于現場(chǎng)校準的機載計量包
• 在每個(gè)曝光位置進(jìn)行動(dòng)態(tài)自動(dòng)對焦，以自動(dòng)調整面板拓撲上的焦點(diǎn)
• 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

• 行業(yè)標準的 6 英寸光罩格式，用于經(jīng)濟的制造
• 低至 1.5µm 的高分辨率成像