XY 軸載物臺,通過(guò)在手動(dòng)載物臺上添加壓電輔助機構,可以進(jìn)行 20nm 或更小的微調。 非常適合需要高分辨率位置調整的手動(dòng)平臺單元和系統??商峁?25x25、40x40、60x60mm 的載物臺尺寸。
注:
安裝載物臺時(shí),請注意不要讓千分尺支架受到震動(dòng)。 否則,壓電輔助機構可能會(huì )損壞。
壓電輔助專(zhuān)用控制器(PASC)的電源關(guān)閉時(shí),壓電輔助的位置調整將改變,微調位置將移動(dòng)。
載物臺尺寸 [mm]:60×60
行程軸:XY 軸
粗調行程 [mm]:±6.5
精細驅動(dòng)行程 [μm]:>30μm
千分尺位置:側面
行程/旋轉 [mm] :0.5
千分尺可讀分辨率 [mm] :0.01
壓電分辨率:<20nm
導向方式:延伸接觸球軸承導向
主要材料:鋁
涂層:黑色陽(yáng)極氧化
負載能力 [N] :49(5kgf)
行程精度/直線(xiàn)度 [μm] :3
力矩容量max.:
間距 [N?m] :4.9
滾動(dòng) [N?m] :4.9
偏航 [N?m] :4.9
力矩剛度
間距 [″/N·cm] :0.6
滾動(dòng) [″/N?cm] :0.6
平行度 [μm] :50
正交性 [μm] :10
運行平行度 [μm] :20
重量 [kg] :0.5