VAT閥門(mén)615系列61536-PHGG-0001/0004

壓力控制

該控制器可確?？焖?，準確的壓力控制。操作LEARN功能只需啟動(dòng)一次，系統參數是自動(dòng)確定的。由于自適應算法的控制器連續適應于加工過(guò)程條件（氣體、氣體流量），從而確保在任何時(shí)候都有壓力控制。

位置控制

在位置控制模式下，閥板可以移動(dòng)到任何位置。

顯示

狀態(tài)和位置是4位的數字顯示。

遙控操作

所述閥可以由主機計算機通過(guò)RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以太網(wǎng)、現場(chǎng)總線(xiàn)、CC鏈路或EtherCAT的接口進(jìn)行控制。 RS232接口與現場(chǎng)總線(xiàn)也有數字輸入以關(guān)閉和打開(kāi)所述閥。此外，數字輸出可用于開(kāi)放和關(guān)閉（閥的狀態(tài)）?？刂仆ㄟ^(guò)邏輯控制接口，通過(guò)數字以及模擬輸入和輸出進(jìn)行。

應用

半導體，FPD和工業(yè)過(guò)程，特別是化學(xué)氣相沉積系統。