NanoFlex系列撓性位移臺結構緊湊,提供無(wú)摩擦無(wú)粘連的移動(dòng)。與使用軸承結構的類(lèi)似位移臺相比,這種位移臺采用的是無(wú)摩擦的撓性機制,能夠提高定位和分辨率。位移臺通過(guò)安裝平臺上附接的聯(lián)動(dòng)裝置的彈性形變(撓性)實(shí)現移動(dòng)。手動(dòng)移動(dòng)范圍為1.5 mm,獨立的壓電移動(dòng)范圍為25 μm。壓電驅動(dòng)通過(guò)標準的SMC終端連接。
NanoFlex系列撓性位移臺的額定負載為max.0.5 kg(1.1磅),非常適合實(shí)驗室和OEM應用。模塊化設計便于堆疊多個(gè)位移臺,搭建多軸配置。使用三個(gè)NF15AP25(/M)位移臺和一個(gè)NF15P2(/M)角度支架可以構造XYZ配置。Thorlabs還提供英制(KPZNF15)和公制(KPZNF15/M)套件,套件包含一個(gè)NanoFlex撓性位移臺、一個(gè)KPZ101壓電控制器和一塊NF15P1底板。