ENTEGRIS快速排氣擴散器Chambergard BGN

Chambergard BGN 擴散器使用燒結鎳過(guò)濾器元件快速擴散進(jìn)入的氣流，使負載鎖定和/或傳輸室以更高的速度填充，而不會(huì )產(chǎn)生顆粒干擾或過(guò)度湍流。 BGN 擴散器的高保持性鎳元素可去除進(jìn)入氣體中的亞微米顆粒污染物并迅速排放到大氣中，從而減少晶圓缺陷并縮短循環(huán)時(shí)間。 BGN 擴散器旨在滿(mǎn)足平板顯示器和 300 毫米工具客戶(hù)的需求，以提升效率、縮短腔室排氣時(shí)間并提高產(chǎn)量。 憑借我們的全球基礎設施，我們可以提供 Chambergard BGN 快速通風(fēng)擴散器，以滿(mǎn)足您在全球范圍內的需求。

燒結鎳技術(shù)可在所有應用中提供良好的性能

設計能夠從進(jìn)入的氣體中去除大于 0.0015 µm 的顆粒，從而大限度地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現有工具中，大限度地減少停機時(shí)間